中科富海專注于電子特種氣體的研發、生産和銷售，是國内特種氣體的領域的生廠商和供應商。中科富海擁有專業的核心團隊和成功的運營經驗，能夠生産供應高品質的高純電子特氣産品，擁有可靠安全穩定的運行經驗和優質的氣體供應鏈資源，可提供專業定制化設計方案及高質量的工程建設方案，爲客戶創造更大價值。
電子特氣産品與應用
類 别 | 環 節 | 主要氣體産品 | 作 用 |
電子特種氣體 | 矽片制造 | 三氟化氮、氯化氫、氫氣、氩 | 氯化、還原、溶解旋拉、環境氣 |
氧化 | 三氟化氮、氯氣、氯化氫、三氯乙烷、二氯乙烯 | 清洗、去除雜質 |
化學氣相沉積CVD | 氨氣、氦氣、氧化亞氮、TEOS、TEB、TEPO、磷化氫、三氟化氯、二氯矽烷、氟化氮、矽烷、六氟化鎢、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等 | 形成CVD薄膜 |
光刻工藝 | 三氟化氮、氟氣、氦氣、氪氣、氖氣等 | 進行光刻 |
蝕刻工藝 | 三氟化氮、矽烷、氦氣、四氟化碳、八氟環丁烷、八氟環戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯氣、溴化氫、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等 | 刻蝕、改進氣體、提高各向異性和選擇性 |
離子注入 | 氟化砷、三氟化磷、磷化氫、三氟化硼、三氯化硼、四氟化矽、六氟化硫、氙氣等 | P型和N型的形成 |
摻雜 | 三氟化氮、含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼 | 半導體的摻雜 |
電子大宗氣體 | 環境氣保護氣 | 氮氣、氧氣、氩氣、二氧化碳等 | 提供惰性環境氛圍 |
中科昊海集成電路&光電材料電子特氣項目
中科昊海三期拟投資建設集成電路&光電材料電子特氣項目，總投資約5億元，占地100畝。依托中科富海自主知識産權核心技術，以及充分利用昊源化工尾氣資源，采用合成、低溫分離、提純等技術，生産出電子級高純一氧化碳、電子級高純二氧化碳、電子級高純氨以及電子級稀有氣體混配氣。本項目的實施，可以提高資源利用效率，有效降低能耗和生産成本。建成後産品将廣泛應用于集成電路光刻機配套、OLED顯示面闆制造工藝、集成電路制造中的清洗工藝和蝕刻工藝等，進一步增強公司在電子特氣領域的影響力，提高該領域的市場份額。
中科富氦電子特氣項目
中科富氦（中山）氣體開發有限公司2021年6月成立于廣東中山，其地址位于廣東省中山市三角鎮高平園區，占地面積約爲62畝，主要投資建設中科富海綜合氣體島項目，項目總投資4億元人民币。中科富海綜合氣體島項目建設周期爲12個月，将建設氫能供應生産線、氦氣分裝生産線、高純空氣産品生産線、電子特氣生産線、辦公用房及相關配套設施等，項目全部投産後3年内可達到最大産量。目标是打造大灣區的氦氣供應基地、氫氣供應基地及特種氣體供應基地，同時成爲中山市及周邊區域的工業氣體供應基地。
中科富鑫電子特氣項目
江蘇中科富鑫氣體有限公司地處長三角的新材料科技産業園區——常州金壇經濟開發區，于2022年1月成立，注冊資本8000萬元人民币，是依托母公司強大的研發與創新能力，由中科富海與常州湘玖材料合資成立的集工業氣體、電子特氣以及氫能源爲一體的生産和供應基地。公司專注于氣體領域，突破國外巨頭的市場與技術壁壘，緻力于解決我國半導體行業所需電子特氣的卡脖子問題，爲化工、新能源、半導體制程、液晶面闆、LED、光伏等領域客戶提供專業優質的氣體産品及應用技術等一體化解決方案。
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