稀有氣體又稱惰性氣體，利用其不易發生化學反應等特點，稀有氣體除用作保護氣外，在工業、醫學、尖端科學技術以及日常生活裏應用廣泛。

中科富海高純電子特氣項目，自主研發基于超低溫制冷機的電子特氣分離技術，設備整體撬裝設計，氖氦氪氙産品純度可達99.9995%以上，提取率90%以上，該項目已成功投産并穩定運行。

中科富海氖氦精制裝置

主要特點：

l  基于小型低溫制冷機的氖氦精制裝置流程；

l  改變傳統高壓節流制冷方式，大大降低運行能耗；

l  整體撬裝設計，大大減少現場工作量；

l  氖氦提取率>90%，純度>99.9995%。

氖氦精制裝置

高純氖氦氣體産品

中科富海氪氙精制裝置

主要特點：

l  采用一次性化學法脫除碳氫化合物和精餾法提純氪氙混合物的工藝，使裝置更安全可靠；

l  氪氙提取率>90%，氪純度>99.9995%，氙純度>99.9995%；

l  安全可靠：貧氪氙液采用長周期運轉的往複式液體泵加壓至5.5MPa以上再汽化，加壓至超臨界，液氧可以避免烴的濃縮析出；

l  清除甲烷系統和分餾塔系統均采用整體撬裝式結構，組件在工廠内安裝完畢，并經嚴格檢漏整體出廠，減少現場施工量，結構緊湊美觀，減少占地面積，同時可保證産品制造質量。 

氪氙精制裝置

高純氪氙氣體産品