氦氣壓縮氦液化裝置系統組成圖
氦液化器的主要設備包括：①氦壓縮機 ②冷箱 ③液氦杜瓦 ④油分離器 ⑤控制櫃 ⑥同軸輸液管 ⑦污氦幹燥器 ⑧回收壓縮機 ⑨ 液氮儲罐 ⑩ 氦氣儲罐 ⑪氦氣瓶組 ⑫回收氣囊。
上圖是帶内純化及回收系統的氦氣壓縮氦液化裝置系統組成圖，主要分爲兩部分：
第一部分主要部件包括：氦氣螺杆壓縮機、除油系統、氣體壓力控制系統、冷箱、控制系統、液氦杜瓦、低溫傳輸管線、在線幹燥器等。主要功能是将高純氦氣直接液化。氦液化系統冷箱内部配置了内純化系統，能在線純化濃度範圍在 90%-99.9%的污氦氣，獲得高純氦氣，然後再液化爲液氦。
另一部分是污氦回收系統部分，核心部件由高壓氦氣壓縮機、氦氣回收氣囊和在線幹燥器等構成，功能是将用戶使用蒸發的氦氣回收到氦氣回收氣囊，接着壓縮至高壓鋼瓶，然後經在線幹燥器除水後送入氦液化系統進行液化。高壓氦氣壓縮機配套有濾油、幹燥、除塵、過濾裝置。
4.5K氦液化器主要性能指标
氦液化器系列 | 液化率L/h | 壓縮機額定功率kW |
FHL-40 | 40-70 | 79-90 |
FHL-70 | 70-100 | 90-132 |
FHL-100 | 100-140 | 132-160 |
FHL-140 | 140-180 | 160-200 |
FHL-180 | 180-240 | 200-250 |
FHL-240 | 240-280 | 250-315 |
FHL-280 | 280-310 | 315-355 |
定制産品 | ≥300 |
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